Avatar uživatele
Becal

Jaké způsoby měření tlaku se používají pro potřeby vakuových depozičních procesů?

Zajímalo by mě, jaké způsoby měření tlaku se používají pro potřeby vakuových depozičních procesů. Mám za úkol to popsat v jedné práci. Existuje o tom nějaká literatura, ve které by bylo vymezeno přesně, který způsob je vhodný (používá se) a který už ne? Jsem si jistý například použitím tepelných či ionizačních vakuometrů, ale u některých metod nevím.

Zajímavá 0 před 4196 dny Sledovat Nahlásit



Odpovědi
Avatar uživatele
fcoop

Samotnému je mi to divné,ale do tohoto „oboru“ jsem shodou okolností ještě nepronikl.

Je to asi takové,jako kdyby jsi mluvil svahilštinou.

Nicméně:
Základem každé vakuové aparatury je měrka tlaku. V naší vysokovakuové depoziční komoře
je využíváno dvou tlakových senzorů. Jedná se o senzory typu studené katody (cold cathode,

Penning) a Pirani.

https://dspace­.vutbr.cz/bit­stream/handle/11012/16­279/DIPLOMOVA_PRA­CE_Michal_Pave­ra.pdf?sequen­ce=1

Snad ti to pomůže.

0 Nominace Nahlásit


Diskuze k otázce

U otázky nebylo diskutováno.

Nový příspěvek